[发明专利]干涉测量式测量装置

摘要

用于利用一个调制干涉仪(2)获得一个测量物体(8)表面的形状、粗糙度或距离的干涉测量式测量装置，由一个辐射源(1)将短相干的射线输送到所述调制干涉仪，并且该干涉仪具有一个用于将输送的射线分配成一个通过一个第一臂导引的第一分射线(2.1)和一个通过一个第二臂导引的第二分射线(2.1’)的第一射线分配器(2.3)，其中所述一个分射线相对于另一分射线通过一个调制机构(2.2，2.2’)在其光相位或光频率上偏移，并移动一个延迟距离(2.9’)，并且紧接着将所述分射线在调制干涉仪(2)的另一射线分配器(2.10)上与一个同调制干涉仪(2)在空间上分开的且与该干涉仪通过一个光导纤维系统(6)已耦联或可耦联的测量探头(3)联合，在该探头中所述联合的分射线在一个公共臂中在一个部分透射的部位(3.3)中分成一个测量射线和一个基准射线，并在其中使在表面上反射的测量射线(r₁ (t))和在一个基准面上反射的基准射线(r₂ (t))重叠，并且通过一个接收机构(4)和一个分析单元(5)将传导到它们的射线变换成电信号，并以一个相位差为基础分析所述信号。一种用于即使在狭窄的空心空间中也能够可靠测量的有利结构的特征在于，所述部分透射的部位(3.3)通过一个探头纤维(3.1)的一个相对于光学探头轴线(3.5)以一个出射角(α)倾斜的出射面(3.31)和一个衔接在物体端的纤维段(3.2)的一个同样相对于光学探头轴线(3.5)以一个入射角(β)倾斜的入射面(3.32)而构成，其中在出射面(3.31)与入射面(3.32)之间构成一个楔形缝隙。

主权项

1.用于利用一个调制干涉仪(2)获得一个测量物体(8)表面的形状、粗糙度或距离的干涉测量式测量装置，由一个辐射源(1)将短相干的射线输送到所述调制干涉仪，并且该干涉仪具有一个用于将输送的射线分配成一个通过一个第一臂导引的第一分射线(2.1)和一个通过一个第二臂导引的第二分射线(2.1’)的第一射线分配器(2.3)，其中所述一个分射线相对于另一分射线通过一个调制机构(2.2，2.2’)在其光相位或光频率上偏移，并移动一个延迟距离(2.9’)，并且紧接着将所述分射线在调制干涉仪(2)的另一射线分配器(2.10)上与一个同调制干涉仪(2)在空间上分开的且与该干涉仪通过一个光导纤维系统(6)已耦联或可耦联的测量探头(3)联合，在该探头中所述联合的分射线在一个公共臂中在一个部分透射的部位(3.3)中分成一个测量射线和一个基准射线，并在其中使在表面上反射的测量射线(r1(t))和在一个基准面上反射的基准射线(r2 (t))重叠，并且通过一个接收机构(4)和一个分析单元(5)将传导到它们的射线变换成电信号，并以一个相位差为基础分析所述信号，其特征在于，所述部分透射的部位(3.3)通过一个探头纤维(3.1)的一个相对于光学探头轴线(3.5)以一个出射角(α)倾斜的出射面(3.31)和一个衔接在物体端的纤维段(3.2)的一个同样相对于光学探头轴线(3.5)以一个入射角(β)倾斜的入射面(3.32)而构成，其中在出射面(3.31)与入射面(3.32)之间构成一个楔形缝隙。