[发明专利]使用兆频超声波换能器谐振器的原位局部加热有效
| 申请号： | 03812022.4 | 申请日： | 2003-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN1655884A | 公开（公告）日： | 2005-08-17 |
| 发明（设计）人： | J·M·博伊德;K·米克海利希 | 申请（专利权）人： | 兰姆研究有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B3/12;B08B7/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 吴立明;张志醒 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了一种用于清洗半导体衬底的设备。在本发明的实施例中，提供了能够提供局部化加热的兆频超声波清洗机。兆频超声波清洗机包括换能器和谐振器。谐振器设置为用以传播来自换能器的能量，谐振器具有第一和第二端，第一端有效耦合至换能器，而第二端设置为在传播来自换能器的能量时提供局部化加热。还提供了一种用于通过兆频超声波清洗来清洗半导体衬底的系统，以及一种用于清洗半导体衬底的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 超声波 换能器 谐振器 原位 局部 加热 | ||
【主权项】：
1.一种用于清洗半导体衬底的设备，该设备包括：换能器：谐振器，其配置为用以传播来自换能器的能量，谐振器具有顶表面和底表面，顶表面有效耦合至换能器，底表面配置为在传播来自换能器的能量时提供局部化加热。
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