[发明专利]用于制造包覆有DLC薄膜的塑料容器的设备

摘要

一种用于制造包覆有DLC薄膜的塑料容器的设备，其特征在于，一个容器侧电极和一个嘴侧电极通过一个绝缘体相互面对，其中所述容器侧电极形成了一个用于收容塑料容器的减压腔室的一部分，所述嘴侧电极被设置在所述塑料容器的开口上方，而所述绝缘体也形成了所述减压腔室的一部分，在所述减压腔室中安装有一条由绝缘材料制成的源气体进入导管，用于对由一个用于供给等离子化源气体的源气体供给装置供送至所述减压腔室的源气体进行导引，以便在所述塑料容器的内壁表面上贴覆一层DLC薄膜，一个排气装置被安装在该设备上，用于将所述减压腔室内部的气体从所述塑料容器的开口上方排出；并且一个高频供给装置被连接在所述设备上，来向所述容器侧电极供给高频，由此，等离子体可以被稳定地产生并且可以持续不变地进行放电，与此同时，通过将所述嘴侧电极设置成与容器外部的容器侧电极相对，可以防止灰尘粘附到所述嘴侧电极上。

主权项

1、一种用于制造包覆有DLC薄膜的塑料容器的设备，包括：一个容器侧电极，其形成了一个用于收容一塑料容器的减压腔室的一部分，和一个嘴侧电极，其被设置在所述塑料容器的开口上方，其中，所述容器侧电极和嘴侧电极被制成经由一个绝缘体相互面对，所述绝缘体也形成了所述减压腔室的一部分，还设置有源气体供给装置，用于供给一种能够被转化成等离子体的源气体，使得所述塑料容器的内壁表面包覆一层类金刚石碳(DLC)薄膜，该源气体供给装置包括一个设置于所述减压腔室中的源气体进入导管，该源气体进入导管由一种绝缘材料制成，用于将供给至所述减压腔室的源气体导入所述塑料容器的内部；排气装置，用于将所述减压腔室内部的气体从所述塑料容器的开口上方排出；以及供给高频的高频供给装置，其被连接在所述容器侧电极上。