[发明专利]采用非均匀修正的图像制造印刷电路板的系统和方法有效
| 申请号： | 03812661.3 | 申请日： | 2003-05-01 |
| 公开（公告）号： | CN1659417A | 公开（公告）日： | 2005-08-24 |
| 发明（设计）人： | 戈兰·哈尼纳;哈南·吉诺;斯蒂芬·鲁克;艾杜·本－托夫 | 申请（专利权）人： | 奥博泰克有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G05B19/18;G06K9/00;G03F9/00;G01N21/86;G03B27/32 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 黄小临;王志森 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | 一种制造电路的系统和方法，其中，通过非均匀地修正(44)电路(40)的表示而生成数字控制图像(46)，从而利用该数字控制图像(46)而在衬底(12)上记录的电路图案(72)与已经形成的电路部分(62)精确相配。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 均匀 修正 图像 制造 印刷 电路板 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于制造电路的方法，包括下列步骤：检测(38)分布在电路衬底(12)上的多个对准目标(82)中的每一个选择目标的实际位置；提供图像(40)，该图像包括将被记录到所述衬底(12)上的电路图案(80)的一部分(16)；以及在所述电路衬底(12)上记录所述图像(40)的非均匀修正版本(46)，所述图像(40)的非均匀修正版本(46)是响应所述检测(38)而被非均匀修正(44)的。
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