[发明专利]使用具有室温光学系统的发射型显微镜的高灵敏度热辐射探测器

摘要

一种光发射型显微镜，包括通过室温投影光学系统(30)从检测中的器件(14)接收光的低温探测器阵列(16)。包括可移动冷却的光阑(32)以及低温滤光器的冷孔径吸收由该光学系统发出的不需要的热辐射。在一个实施例中，高分辨率CCD相机可以与低温探测器阵列(16)和具有计算机控制的反射镜的相机一起使用，所述计算机控制的反射镜向这两个相机提供发射光。

主权项

1.一种显微镜，包括：低温探测器阵列，输出与1.5μm以上的热辐射成比例的电子信号；多个物镜，用于将由测试中的器件发出的热辐射成像并投影中间图像，不同的物镜具有不同的放大率；投影透镜系统，用于将中间图像成像在探测器阵列上；作为系统的限制孔径的冷孔径，位于投影透镜系统和探测器阵列之间，所述冷孔径吸收在该光学系统内发出的不需要的热辐射，并且该冷孔径位于与物镜的出射光阑共轭的平面处；冷光学滤光装置，阻挡不需要波长在所述阵列上成像；连接到低温探测器阵列的处理器装置，用于除去噪声和增强信号；以及连接到该处理器装置的显示装置，用于显示测试中的器件发出的热的热图像。