[发明专利]用于高精密度抛光的金属氧化物粉末及其制备方法无效

专利信息
申请号: 03812996.5 申请日: 2003-06-03
公开(公告)号: CN1659252A 公开(公告)日: 2005-08-24
发明(设计)人: 权赫真;安明镐;郑永权;李鳞渊 申请(专利权)人: 三星康宁株式会社
主分类号: C09K3/14 分类号: C09K3/14
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 代理人: 于辉
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 发明涉及一种用于高精密度抛光的金属氧化物粉末及其制备方法,所述金属氧化物粉末包含由初级颗粒聚集形成的聚集体,其具有1.1至2.0的聚集度(α)及3至10的聚集等级(β),所述聚集度(α)和聚集等级(β)可分别由式(I)和式(II)定义:α=6/(S ×ρ× d(XRD)) (I)β=重量平均粒径/d(XRD) (II)其中,S为该粉末的比表面积;ρ为密度;及d(XRD)为由X射线衍射分析所测得的粉末粒径。本发明的粉末可提供高抛光速度并减少刮伤。
搜索关键词: 用于 精密度 抛光 金属 氧化物 粉末 及其 制备 方法
【主权项】:
1、一种包含由初级颗粒聚集形成的聚集体的金属氧化物粉末,其具有1.1至2.0的聚集度(α)及3至10的聚集等级(β),所述聚集度(α)及聚集等级(β)可分别由式(I)和式(II)定义:α=6/(S×ρ×d(XRD)) (I)β=重量平均粒径/d(XRD) (II)其中,S为该粉末的比表面积;ρ为密度;d(XRD)为由X射线衍射分析所测得的粉末粒径。
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