[发明专利]用于微电子基底的清洁组合物无效
| 申请号： | 03813026.2 | 申请日： | 2003-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN1659480A | 公开（公告）日： | 2005-08-24 |
| 发明（设计）人： | 许建斌 | 申请（专利权）人： | 马林克罗特贝克公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 封新琴;巫肖南 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 适用于清洁具有二氧化硅、低κ或高κ电介质和铜或铝金属化的微电子结构的清洁组合物包含强碱和选自酰胺、砜、环丁烯砜、硒代砜和饱和醇的极性有机溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 微电子 基底 清洁 组合 | ||
【主权项】：
1.一种用于从微电子基底清洁光致抗蚀剂和残留物的不含硅酸盐的清洁组合物，所述清洁组合物包含：选自酰胺、砜、硒代砜和饱和醇的极性有机溶剂；和强碱；和任选的一种或多种以下组分：酸、腐蚀抑制共溶剂、螯合剂或金属络合剂、氧化剂稳定剂、腐蚀抑制剂、金属腐蚀抑制剂、氟化物、表面活性剂和水。
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