[发明专利]压电/电致伸缩装置和其制造方法无效
| 申请号： | 03813535.3 | 申请日： | 2003-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN1659718A | 公开（公告）日： | 2005-08-24 |
| 发明（设计）人： | 柴田和义;池田幸司;渡边雅志 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/083 | 分类号： | H01L41/083;H01L41/24 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张敬强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种压电/电致伸缩装置(10)包括一固定部(11)，被该固定部支撑的薄板部(12)和一由多个电极和多个压电/电致伸缩层交替构成的压电/电致伸缩元件(14)。该压电/电致伸缩装置(10)通过首先在构成所述薄板部(12)的薄板上形成包括片状电极和压电/电致伸缩层的压电/电致伸缩层多层体，然后切割薄板和压电/电致伸缩层多层体而制成。该切割通过沿压电/电致伸缩多层体的层叠方向往复移动线状部件(线锯)且与层叠方向平行。因此，片状电极被切割，且同时在电极层平面内被延伸，从而覆盖压电/电致伸缩层的端面的区域减少。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 伸缩 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种压电/电致伸缩装置，包括：一薄板部；一支撑薄板部的固定部；和一至少形成在薄板部的一个平面上的压电/电致伸缩元件，该压电/电致伸缩元件包括在多个层中交替排布的多个电极和多个压电/电致伸缩层，且具有一裸露在外面的侧端面，该侧端面包括所述多个电极的侧端面和所述多个压电/电致伸缩层的侧端面；其中，每个电极的、形成相应侧端面的一部分延伸至夹着电极的压电/电致伸缩层的侧端面上，从而部分覆盖压电/电致伸缩层的侧端面。
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