[发明专利]掺杂B/C/N/O/Si溅射靶的制备无效
| 申请号： | 03813790.9 | 申请日： | 2003-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN1659306A | 公开（公告）日： | 2005-08-24 |
| 发明（设计）人： | 张文军 | 申请（专利权）人： | 黑罗伊斯有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 郭国清;樊卫民 |
| 地址： | 美国亚*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种掺杂非金属元素的溅射靶的制备方法，其中非金属元素包括硼、碳、氮、氧和硅。使用粉末工艺，由此将合金粉末混合、封装和进行等静热压固结，所述合金粉末包括非金属元素B/C/N/O/Si，且非金属包括低于微米级的微观结构相。本发明的溅射靶可避免在靶材料溅射到基材上的过程中的喷溅问题。 | ||
| 搜索关键词： | 掺杂 si 溅射 制备 | ||
【主权项】：
1.一种制备掺杂非金属添加剂溅射靶的方法，该方法包括如下步骤：(a)制备和选择掺杂有至少一种非金属的原材料元素粉末或合金，其中所述粉末具有低于约10μm的微观结构；(b)封装；(c)等静热压；和(d)设备成形得到溅射靶。
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