[发明专利]装置台驱动装置与探查方法

摘要

本发明的装载台的装载台驱动装置，包括使装载晶片的装载台(1)沿水平方向移动的水平驱动机构(17)和使装载台沿上下方向移动的升降驱动机构(14)。升降驱动机构具有支撑水平驱动机构(17)，且升降水平驱动机构的第一升降机构(18)与在水平驱动机构(17)上支撑装载台，并通过压电元件(19b)，使装载台升降微小距离的第二升降机构(19)。

主权项

1.一种装载台驱动装置(9)，构成为沿水平方向和上下方向移动在其装载面(1b)上装载被检查用基板(W)的装载台(1)，其特征在于，具有：第二升降机构(19)，构成为支撑该装置台且沿上下方向升降装载台；第一水平驱动机构(17)，构成为支撑该第二升降机构且沿处于水平面上的X和Y方向移动该第二升降机构；第一升降机构(18)，构成为支撑该第一水平驱动机构且沿上下方向升降该第一水平驱动机构。