[发明专利]光波导无效
申请号: | 03814306.2 | 申请日: | 2003-04-22 |
公开(公告)号: | CN1662833A | 公开(公告)日: | 2005-08-31 |
发明(设计)人: | M·A·哈泽;J·-Y·张 | 申请(专利权)人: | 3M创新有限公司 |
主分类号: | G02B6/12 | 分类号: | G02B6/12 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 顾敏 |
地址: | 美国明*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 披露了一种具有光学密封层的光波导。“光学密封层”是指在光波导器件中与芯层和包覆层不同的层,它的折射率比包覆层的折射率低并且具有图案,从而在波导中对光进行侧向引导;“侧向”方向是指在光学密封层平面的方向上。该波导具有下包覆层、芯层、与芯层贴近的有图案的光学密封层、任意的上包覆层和任意的基底。光学密封层可以包含如MgF2、LiF或任何其它低折射率的材料。芯层可以包含用如铝、钛、钽、锆、锗、铪或磷掺杂的高折射率的二氧化硅。或者,芯层可以包含氧氮化硅(SiON)或氮化硅(Si3N4)。包覆层可以包含二氧化硅。例如,下包覆层可以包含用硼或氟掺杂的低折射率的二氧化硅。基底可以包含硅或二氧化硅。或者,包覆层和芯层可以分别包含聚合物。在某些实施方案中,波导可以包括用稀土元素如铒掺杂的层。光学密封层的位置可以变化,只要它贴近芯层就可。例如,光学密封层可以在下包覆层和芯层之间,在上包覆层和芯层之间,嵌入芯层内,嵌入上包覆层内,或嵌入下包覆层内。 | ||
搜索关键词: | 波导 | ||
【主权项】:
1.一种光波导,它包含:下包覆层,芯层,和与芯层贴近的有图案的光学密封层。
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