[发明专利]具有光传感器的抛光垫无效
| 申请号： | 03814472.7 | 申请日： | 2003-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN1662344A | 公开（公告）日： | 2005-08-31 |
| 发明（设计）人： | 格雷格·巴伯 | 申请（专利权）人： | 斯特拉斯保 |
| 主分类号： | B24B49/00 | 分类号： | B24B49/00;B24B1/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 蔡洪贵 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种抛光垫(3)具有不会引起晶片工件过度磨损的光学组件(25)。光学组件(25)设置在垫(3)内，以使其可响应施加到光学组件(25)的力而移动。 | ||
| 搜索关键词： | 有光 传感器 抛光 | ||
【主权项】：
1、一种用于晶片或其它工件的化学机械平坦化的抛光垫，所述抛光垫包括：此抛光垫特征在于具有顶表面、底表面和厚度，所述抛光垫具有一设置在其中的孔，所述孔大体上从顶表面完全延伸至底表面；及设置在孔中的膜盒，所述膜盒装有用于在抛光过程中检测晶片或其它工件的性能的装置；所述膜盒具有大体上与所述抛光垫的顶表面共平面的顶表面、和小于所述抛光垫厚度的厚度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于斯特拉斯保，未经斯特拉斯保许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/03814472.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：半导体装置的制造方法
- 下一篇：液晶装置、电子设备及滤色器基板
