[发明专利]浸在液体中的动态BIONEMS传感器和BIONEMS传感器阵列

摘要

一种bioNEMS装置，包括具有挠曲管脚和末端具有生物功能化部分的压阻悬臂，挠曲管脚将悬臂固定到支架。施加给管脚的偏流受生物化末端所能接受的最大温度增加限制。选择悬臂的长度的幅值，使背景约翰逊噪声最小。装置上经过催化的受体与配合基结合，增强结合率系数。催化剂降低了受体－配合基结合活性能，并且设计成通过强制进化优先与配合基结合。设置在悬臂上的磁膜注入载波信号，而磁膜与载波信号源电磁耦合。多个NEMS流体耦合的传感器产生多个输出信号，由此通过求平均或阈值化产生集合输出信号。NEMS装置设置于微流体液流通道中，并且在薄膜中制造而成。结合分子附着于传感器的末端，绒球附着于结合分子上，以增大阻尼。

主权项

1.一种亚微米bioNEMS装置，包括：支架；和与支架耦合并从该处延伸的压阻悬臂，其具有长度l和宽度w以及一末端，其中所述悬臂具有一宽度减小为b且长度为l1的限制部分，以及处于所述末端或末端附近的生物功能化部分。