[发明专利]带有晶片型感应器的质流仪无效
| 申请号： | 03815196.0 | 申请日： | 2003-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN1666089A | 公开（公告）日： | 2005-09-07 |
| 发明（设计）人： | C·万西斯;J·吉步森;J·D·帕森斯;T·费尔曼 | 申请（专利权）人： | 希脱鲁尼克斯 |
| 主分类号： | G01F1/68 | 分类号： | G01F1/68 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 周承泽 |
| 地址： | 美国内*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种质流计，其利用分离式晶片类型之温度感应器(U1，U2，D1，D2)以感应流体流速。该感应器可以是一种半导体晶片，如碳化硅(SiC)或硅，或是氮化铝(AlN)基板(30)上的钨薄膜(28)。为了精确的流速监测，感应器可以相对于流体流经的导线管(4)对称地分布，并且可以连接成四个感应器的桥接电路。质流计的输出可以用来控制流速。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 晶片 感应器 质流仪 | ||
【主权项】：
1.一种质流计(MFM)结构，包括：一导管(4)，用来导引流体流动，及至少放置四个互相分隔的温度感应器(U1，U2，D1，D2)，以感应流经该导管内的流体温度，该感应器连接成四感应器桥接电路，以感应流经该导管之流体的质流速率。
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