[发明专利]用于动态传感器配置和运行时间执行的方法和设备有效
| 申请号： | 03815555.9 | 申请日： | 2003-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN1666329A | 公开（公告）日： | 2005-09-07 |
| 发明（设计）人： | 莫瑞特·芬克 | 申请（专利权）人： | 东京电子株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;G05B19/418 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王萍 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种图形用户接口(GUI)，用于配置和设置在半导体处理系统中用于监视工具和处理性能的动态传感器。所述半导体处理系统包括许多处理工具、许多处理模块(室)和许多传感器。图形显示被这样组织，以使得所有的重要参数被清楚地和合乎逻辑地显示，从而用户能够利用尽可能少的输入进行所需的配置和设置任务。所述GUI是基于环球网的，用户可以使用环球网浏览器察看。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 动态 传感器 配置 运行 时间 执行 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种使用图形用户接口(GUI)设置半导体处理环境中的动态传感器的方法，所述方法包括：执行数据采集计划；使用所述数据采集计划确定一个动态传感器设置计划；执行所述动态传感器设置计划来设置所述动态传感器。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京电子株式会社，未经东京电子株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/03815555.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
