[发明专利]用于干膜抗蚀剂的热稳定的光固化树脂组合物无效
| 申请号： | 03816061.7 | 申请日： | 2003-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN1666149A | 公开（公告）日： | 2005-09-07 |
| 发明（设计）人： | H·奥卡;J·P·泰勒;M·奥瓦 | 申请（专利权）人： | 西巴特殊化学品控股有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/031 | 分类号： | G03F7/031;G03F7/16;G03F7/105 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 关立新;邹雪梅 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 本发明涉及一种制备干膜抗蚀剂的方法，所述方法包括在载体膜上形成厚度为1－50μm光固化树脂组合物，任选地将将一层保护膜层压在光固化组合物层上获得干膜抗蚀剂，由此从一种均匀的混合物形成光固化树脂，所述混合物包括：(a)20－90wt％的碱溶性粘合剂低聚物或聚合物；(b)5至60wt％的一种或多种可光聚合的单体，所述单体能与组分(a)的低聚物或聚合物相容；(c)0.01至20％重量的一种或多种光引发剂；(d)0至20％重量的添加剂和/或助剂；和(e)0.1至10％重量的式I的无色三苯基甲烷染料，其中：R1是选自下面的基团R2是C1－C12烷基或是可以被C1－C6烷基，三氯甲基，C1－6烷氧基，C1－6烷硫基，卤素和硝基单－、双－或三取代的苯基；R3是氢或C1－C12烷基；R4－R9各自独立为氢或C1－C12烷基；X是O、S、NH或N－C1－C12－烷基；(a)至(e)为100％重量。上述组合物用于消除热层压过程中的不利的颜色产生。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 干膜抗蚀剂 稳定 光固化 树脂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种制备干膜抗蚀剂的方法，所述方法包括在载体上形成厚度为1-50μm光固化树脂组合物，任选地将将一层保护膜层压在光固化组合物层上获得干膜抗蚀剂，由此从一种均匀的混合物形成光固化树脂，所述混合物包括：(a)20-90wt％的碱溶性粘合剂低聚物或聚合物；(b)5至60wt％的一种或多种可光聚合的单体，所述单体能与组分(a)的低聚物或聚合物相容；(c)0.01至20％重量的一种或多种光引发剂；(d)0至20％重量的添加剂和/或助剂；和(e)0.1至10％重量的式I的无色三苯基甲烷染料![]()
其中：R1是选自下面的基团![]()
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R2是C1-C12烷基或是可以被C1-C6烷基，三氯甲基，C1-6烷氧基，C1-6烷硫基，卤素和硝基单-、双-或三取代的苯基；R3是氢或C1-C12烷基；R4-R9各自独立为氢或C1-C12烷基；X是O、S、NH或N-C1-C12-烷基；(a)至(e)为100％重量。
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