[发明专利]制作盘形记录介质的旋涂装置和方法

摘要

本发明涉及制作盘形记录介质的旋涂装置和方法。所述旋涂装置可防止对一盘进行旋涂时采用的一掩膜受到损坏。更具体地说，所述装置结构如下。首先，将一掩膜放置到一位于一旋涂器上的盘件上，然后进行旋涂。紧接之后，连续地对移离该盘件的单个掩膜进行清洗、冲洗及干燥处理，这些处理之后的掩膜相继发送给下一旋涂操作。

主权项

1.一种用于通过给一盘件的靠近中央的部分供应一液态材料并转动所述盘件以利用一离心力散布所述液态材料而在所述盘件上形成所述液态材料的膜的旋涂装置，所述旋涂装置包括：适于在转动的同时夹持所述盘件的一旋涂器机构；一掩膜供给/移除机构，当所述盘件在所述旋涂器机构内转动时，所述掩膜供给/移除机构给所述盘件供应一覆盖所述盘件中心及环绕所述中心的一部分的掩膜，并且在所述盘件已经完成转动后，所述掩膜供给/移除机构将所述掩膜移离所述盘件；一分配器机构，当所述盘件和所述掩膜在所述旋涂器机构内保持并转动时，所述分配器机构给所述盘件与所述掩膜中的至少一个的上表面供应所述液态材料；以及一清洗机构，所述清洗机构从所述掩膜供给/移除机构接收一其上附着有所述液态材料的掩膜，清洗经接收的所述掩膜以除去附着在其上的所述液态材料，以及将经清洗的所述掩膜转送到所述掩膜供给/移除机构。