[发明专利]电动机械马达的精密控制

摘要

一种电动机械马达，其以驱动元件的接触部分沿平滑轨道移动的方式受驱动。速度变化，在元件与移动物体(22)接触期间比无接触期间，其平均速度较低。最好，当在成组元件之间转换时，主位移速度分量不可忽视。当马达停止时，致动元件组处于无电压状态，一次一组。元件的接触部分交迭成这样的精度，以致在移动物体和定子(10)之间施加的法向力足够大，从而导致定子(10)的弹性变形与交迭的精度相比具有相同的数量级或比之更大。

主权项

1.一种驱动电动机械马达的方法，该电动机械马达具有定子(10；10a，10b)，定子通过驱动元件(14；14a-d)致动物体(22)在主位移方向(26)上移动，该方法的步骤包括：向第一组所述驱动元件(14a，14c)提供第一组电压信号，所述第一组电压信号包括至少一个电压信号；向第二组所述驱动元件(14b，14d)提供第二组电压信号，所述第二组电压信号包括至少一个电压信号；控制所述第一组电压信号，从而使所述第一组所述驱动元件(14a，14c)的接触部分(28)沿第一轨道移动；控制所述第二组电压信号，从而使所述第二组所述驱动元件(14b，14d)的接触部分(28)沿第二轨道移动；所述第一和第二轨道布置成借助重复小步进使所述移动物体(22)相对于所述定子(10；10a，10b)运动，从而保证在每个瞬间在所述定子(10；10a，10b)和所述移动物体(22)之间机械接触；和在所述定子(10；10a，10b)和所述移动物体(22)之间施加法向力(N)；所述法向力(N)的量足以使所述定子(10；10a，10b)的弹性变形与垂直于所述移动物体(22)的所述主位移方向(26)的所述定子(10；10a，10b)的高度不确定性至少具有相同数量级。