[发明专利]小行星式磁电管

摘要

一种小型不平衡磁铁组件(60)是绕一被电浆溅镀的标靶(90)背面在一较佳为逆行(retrograde)行星式或周转圆式路径(92)中扫描，该扫描包括一绕该标靶的中心轴(72)的轨道式旋转，及一绕相对该标靶中心轴旋转的另一轴的行星式旋转。该磁铁组件可通过该标靶中心，因此可完全覆盖标靶。具有齿轮的一行星式机构可包括一旋转驱动板(74)、一固定中心齿轮(62)及一惰齿轮(76)，及一可旋转支撑在该驱动板上的随动齿轮(78)，该驱动板支撑一在该面对该标靶的驱动板的一侧上的悬臂式磁铁组件(84)。一带件(342)及滑轮(344、346)可取代该等齿轮。所述侵蚀轮廓可藉由改变通过该旋转循环的旋转速率或藉由变化该标靶功率而控制。一第二行星式阶段(302、304、306)可被加入或使用非圆形齿轮(310)。位于该室内部旁及台架(122)下的辅助电磁线圈(254、258)可产生一集中的磁场。

主权项

1.一种设置用以配合一大体上绕一中心轴对称的溅镀标靶使用的振荡磁电管，其用于一大体上绕该中心轴对称地配置的磁电管溅镀反应器中，该振荡磁电管至少包含：一磁铁组件，其至少包含：一内磁极，其具有一沿该中心轴的第一磁极性及一第一总磁性强度，及一外磁极，其围绕该内磁极，且具有一与该第一磁极性相反的第二磁极性，及一为该第一磁性强度的至少150％的第二总磁性强度；及一扫描机构，其在一路径中相对于该中心轴径向地且周围地移动该磁铁组件，且移动该外磁极通过该中心轴。