[发明专利]微孔抛光垫有效
| 申请号： | 03817583.5 | 申请日： | 2003-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN1671509A | 公开（公告）日： | 2005-09-21 |
| 发明（设计）人： | 阿巴尼什瓦·普拉萨德 | 申请（专利权）人： | 卡伯特微电子公司 |
| 主分类号： | B24D3/32 | 分类号： | B24D3/32;B24D11/00;B24D18/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 宋莉;贾静环 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供用于化学－机械抛光的包括多孔发泡体的抛光垫及其制造方法。一个具体实施方式中，该多孔发泡体平均孔径为50微米或以下，其中75％或以上的孔隙具有平均孔径20微米或以下的孔径。在一个具体实施方式中，多孔发泡体的平均孔径20微米或以下。又另一个具体实施方式中，该多孔发泡体具有多－模态孔径分布。该制造方法包括(a)使聚合物树脂与超临界气体结合产生单相溶液，及(b)从该单相溶液形成抛光垫，其中通过使气体经历高温及高压产生超临界气体。 | ||
| 搜索关键词： | 微孔 抛光 | ||
【主权项】：
1.一种供化学-机械抛光的抛光垫，包括具有平均孔径为50微米或以下的多孔发泡体，其中75％或以上的孔隙具有20微米或以下的平均孔径。
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