[发明专利]精密加工用载物台装置

摘要

本发明的精密加工用载物台装置，利用台保持机构允许支承被加工物的可动台在同一面内向任意方向移动。所述可动台，利用电磁驱动装置而被赋予所述同一面内的送进。所述可动台，利用电磁制动机构而被停止在所述同一面内的任意位置上。所述电磁驱动装置，利用被驱动磁铁与驱动线圈的相互磁性作用而产生对所述可动台的送进。所述电磁制动机构具有制动用磁铁和非磁性及导电性的制动板，该制动用磁铁和该制动板的组，根据涡电流引起的磁力与该制动用磁铁的磁力的磁性作用而产生制动力，所述涡电流是随着所述可动台的移动而产生在该制动板上的。

主权项

1、一种精密加工用载物台装置，其特征在于，具有：装入本体部并对被加工物进行支承的可动台；装入所述本体部、允许所述可动台在同一面内向任意方向移动的台保持机构；装入所述本体部、对所述可动台赋予所述同一面内的送进的电磁驱动装置；以及电磁制动机构，其产生用于使所述可动台停止在所述同一面内的任意的位置上的制动力，所述电磁制动机构，具有多个被驱动磁铁和根据通电方向产生对所述被驱动磁铁的磁力起作用的磁力的驱动线圈的组，利用所述被驱动磁铁与所述驱动线圈的相互磁性作用而使所述可动台产生送进，所述被驱动磁铁和所述驱动线圈中，一方被固定在一定位置，另一方被设置成可与所述可动台一体地移动，所述电磁制动机构，包括相互面对、且与所述可动台的动作同步地作相对移动的制动用磁铁和非磁性及导电性的制动板，在所述制动用磁铁和所述制动板中，一方被固定在一定位置，另一方被设置成可与所述可动台的动作同步移动，该制动用磁铁和该制动板的组，是根据涡电流引起的磁力与该制动用磁铁的磁力的相互磁性作用而产生制动力，该涡电流是随着所述可动台的移动而产生在该制动板上的。