[发明专利]圆盘状物品的基准位置自动示教方法、自动定位方法与自动运送方法 ,以及使用这些方法的圆盘状物品的基准位置自动示教装置、自动定位装置与自动运送装置

摘要

为实现具有定位装置与运送机器人的半导体制造装置设备组装时各部分的基准位置示教与正常生产过程中的定位自动化，提高生产率，本发明对晶圆等圆盘状物品47的圆周与检测装置的轨迹43的相交的两点W₁、W₂进行检测，用该两，连结这两点的线段的垂直平分线42上的特定点0以及圆盘状物品的半径r算出圆盘状物品的中心位置。这样，便可让运送机器人进行定位作业，用该结果，不仅可以修正运送路径，而且可以实现设备组装时的基准位置示教自动化。在有缺口部的情况下，用检测装置的两条轨迹检测圆盘状物品的圆周，找到正确的中心位置。另外，通过用检测装置的3条轨迹检测半径未知的圆盘状物品的圆周，求出半径，可使用直径不同的晶圆进行混合生产成为可能。

主权项

1.一种对圆盘状物品的处理装置进行关于作为包括该处理装置位置在内的基准坐标系中的圆盘状物品位置的基准的基准位置进行自动示教的方法，其特征在于包括：求出放置于作为基准位置的所定场所的半径已知的圆盘状物品在上述基准坐标系中的中心位置的工序，将根据上述中心位置通过运算求出的上述基准坐标系中的上述所定场所的位置作为基准位置存贮于上述处理装置中的工序，求出上述圆盘状物品的中心位置的工序包括将检测装置相对于上述圆盘状物品移动，使得上述检测装置的一条轨迹与上述圆盘状物品的圆周交叉的工序，求出上述交叉产生的两个交点在上述基准坐标系中的位置的工序，用连结上述的两个交点的线段的垂直平分线上的特定的点，上述两个交点与上述圆盘状物品的半径算出上述中心位置的工序。