[发明专利]高纯度和超高纯度气体的生产有效
申请号: | 03818206.8 | 申请日: | 2003-05-30 |
公开(公告)号: | CN1671461A | 公开(公告)日: | 2005-09-21 |
发明(设计)人: | H·萨克塞娜;M·W·阿克利;J·F·比林哈姆;P·A·巴雷特 | 申请(专利权)人: | 普莱克斯技术有限公司 |
主分类号: | B01D53/04 | 分类号: | B01D53/04;B01D53/62 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 韦欣华;庞立志 |
地址: | 美国康*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 在进料物流通过负载金属催化剂(34)之前,通过将进料物流通过一氧化碳吸附剂(33),从气态进料物流中除去痕量的一氧化碳和任选的氢气。与现有方法相比,本发明节约了大量资金和生产成本。 | ||
搜索关键词: | 纯度 超高 气体 生产 | ||
【主权项】:
1.一种用于从含有小于50ppm量的CO进料物流中除去CO的吸附装置,所述装置包括至少一个含有CO吸附剂层的吸附容器,CO吸附剂具有大于或等于0.01mmol/g的ΔCO工作容量,并且其中:a)当所述进料物流另外含有至少一种选自氮气、He、Ne、Ar、Xe、Kr、CH4及其混合物的气体时,所述吸附剂与IB族元素进行离子交换;或b)当所述进料物流另外含有至少一种选自氧气和空气及其混合物的气体时,所述吸附剂为SiO2/Al2O3比小于20、并与Ag+或Au+离子交换的沸石。
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