[发明专利]带有下部铰链的体硅镜有效
| 申请号： | 03818414.1 | 申请日： | 2003-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN1672081A | 公开（公告）日： | 2005-09-21 |
| 发明（设计）人： | B·P·范德里恩惠岑;J·P·维尔德;N·宽 | 申请（专利权）人： | 卡佩拉光子学公司 |
| 主分类号： | G02B7/182 | 分类号： | G02B7/182 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 廖凌玲;杨松龄 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种MEMS装置(100)，包括体元件(110)、第一和第二铰链(121，122)和支承件(130)。体元件(110)具有顶表面和底表面(112，111)，并且铰链被设置在顶表面(112)下面。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 下部 铰链 体硅镜 | ||
【主权项】：
1.一种装置，包括：a)体元件，所述体元件具有器件表面和设置在所述器件表面下面的底表面；b)支承件；和c)至少一个铰链，所述铰链设置在所述底表面下面，并且其与所述体元件和所述支承件相连接，由此将所述体元件悬挂在所述支承件上。
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