[发明专利]密封的整体式微机电系统开关

摘要

一种MEMS开关包括微机械加工的单层(122)，该单层(122)具有杠杆(52)、一对扭杆(66a、66b)和框架(64)。框架(64)支撑杠杆(52)以绕扭杆(66a、66b)所建立的轴线(68)转动。在杠杆(52)末端处的短路棒(58a、58b)连接在接合到层(122)一个表面的衬底(174)上支承的多对开关触点(56a1、56a2、56b1、56b2)。基底(104)也结合到层(122)与衬底(174)相反的表面。衬底(174)支承电极(54a、54b)，用于向杠杆(54)施加力来促使其绕轴线(68)转动。支撑在悬臂(166)的自由端处的电接触支柱(152)确保层(122)上的接地板(162a、162b)和衬底(174)上的电导体之间有良好的电传导。

主权项

1.一种整体式微机电系统开关，适合于选择性地将连接到所述微机电系统开关的第一输入导体上存在的电信号耦合到同样连接到所述微机电系统开关的第一输出导体，所述微机电系统开关包括：单层材料，其中微机械加工有：a.杠杆；b.一对扭杆，其布置在所述杠杆的相反侧上并且耦合到所述杠杆，并且建立了所述杠杆可以绕其转动的轴线；和c.框架，所述扭杆离所述杠杆最远的末端耦合到所述框架，所述框架通过所述扭杆来支撑所述杠杆绕所述扭杆所建立的所述轴线转动；导电的第一短路棒，其支承在所述杠杆的远离所述扭杆建立的所述转动轴线的末端处；基底，其结合到所述单层的第一表面；和衬底，其被接合到所述单层的第二表面，所述第二表面远离所述基底所结合到的所述第一表面，所述衬底上形成有：a.与所述杠杆的一个表面并置的第一电极，所述表面位于由所述扭杆建立的所述转动轴线的一侧，在所述第一电极和所述杠杆之间施加电势促使所述杠杆绕由所述扭杆建立的所述转动轴线在第一方向上转动；和b.适合于可分别连接到所述第一输入导体和所述第一输出导体的第一对开关触点，并且所述第一对开关触点：i.当没有力施加到所述杠杆时布置成与所述第一短路棒相邻但是与其间隔开；ii.当没有力施加到所述杠杆时彼此电绝缘；和iii.在向所述杠杆施加足够大的力以促使所述杠杆绕由所述扭杆建立的所述转动轴线在所述第一方向上转动时，与所述第一短路棒接触；由此在所述杠杆绕所述扭杆所建立的所述转动轴线在所述第一方向上转动到所述第一短路棒接触所述第一对开关触点的程度时，所述接触的第一短路棒将所述第一对开关触点电耦合起来。