[发明专利]具有坚固密封边缘的子垫

摘要

本发明提供了用于各种不同用途的经包封的带和经包封的垫，这些用途包括化学－机械抛光和平整化半导体晶片和其它的工件。经包封的带和垫以在垫或带的抛光层和垫或带的子垫层的边缘之间的坚固的密封为特征。坚固的密封通过直接浇注聚合物到子垫层上而实现。子垫层的边缘可以具有一种或多种功能特性，当子垫层用浇注聚合物覆盖时，该特性促进防水的和耐抛光液的包封的形成。本发明也提供了一种通过用聚合物材料包封子垫层而在抛光层和子垫的边缘区域之间制备坚固的密封的方法。

主权项

1.一种用来抛光或平整化工件的带或垫，其含有基材(1)、无缝的抛光层(3)和至少一层放置在所述的基材和所述的抛光层之间的子垫层(2)，其中所述抛光层(3)浇注在所述子垫(2)和基材(1)上，结果包封了子垫层和基本上阻止了水分渗透进入到子垫层(2)中。