[发明专利]MEMS开关中的电极排列有效
| 申请号： | 03819286.1 | 申请日： | 2003-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN1842884A | 公开（公告）日： | 2006-10-04 |
| 发明（设计）人： | Q·马 | 申请（专利权）人： | 英特尔公司 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 刘红;张志醒 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种微机电系统(MEMS)开关，包括：信号触点(78)、激励电极(76)和当将电压提供给激励电极时接合信号触点的梁(80)。信号触点包括第一部分和第二部分。激励电极位于信号触点的第一和第二部分之间。 | ||
| 搜索关键词： | mems 开关 中的 电极 排列 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS开关，包括：包括第一部分和第二部分的信号触点；位于信号触点的第一和第二部分之间的激励电极；和当将电压提供给激励电极时接合信号触点的梁。
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