[发明专利]将衬底在工作台上对齐的方法

摘要

本发明包括一种对齐具有已知形状的工件的方法，包括如下动作：借助于拾取和放置机器人拿取工件、提供激光束、用探测器探测何时所述工件的边缘的第一位置打断所述激光束、记录机器人臂的位置、用探测器探测何时所述工件的边缘的第二位置打断所述激光束、记录机器人臂的位置、从机器人臂的所述各位置计算所述工件的角度误差、及借助于所述机器人臂校正所述工件的所述角度误差。根据本发明的另一方面，所述工件在被所述拾取和放置机器人拿取的同时，在所述工件的一个表面的平面内转动对齐，将所述工件布置在工作台上，并且在将所述工件布置于所述工作台上的同时至少在X或Y方向的一个方向上对齐所述工件。

主权项

1.一种对齐具有已知形状的工件的方法，该工件至少局部地由一层对电磁辐射敏感的材料覆盖，包括以下动作：-用连接到机器人臂上的拾取装置拿取所述工件；-提供激光束和探测器，该激光束的波长不会影响对电磁辐射敏感的所述材料；-沿第一方向朝所述激光束移动所述工件；-用所述探测器探测何时所述工件的边缘的第一位置至少局部打断所述激光束；-当所述工件的边缘的所述第一位置至少局部打断所述激光束时，记录机器人臂的位置；-用所述机器人臂移位所述工件；-在所述方向上朝所述激光束移动所述工件；-用所述探测器探测何时所述工件的边缘的第二位置至少局部打断所述激光束；-当所述工件的边缘的所述第二位置至少局部打断所述激光束时，记录机器人臂的位置；-从机器人臂的所述各位置来计算所述工件的角度误差；-借助于所述机器人臂校正所述工件的所述角度误差；-将所述工件放置在工作台上。