[发明专利]用于钛氧化物表面的蚀刻糊无效
| 申请号： | 03820081.3 | 申请日： | 2003-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN1678714A | 公开（公告）日： | 2005-10-05 |
| 发明（设计）人： | S·克莱因;A·屈布尔贝克;W·斯托库姆 | 申请（专利权）人： | 默克专利有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/08 | 分类号： | C09K13/08;C09K15/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 林柏楠;刘金辉 |
| 地址： | 德国达*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及用于蚀刻一般组成为TixOy的钛氧化物表面的呈可印刷和可分布蚀刻糊形式的新型蚀刻介质，还涉及这些蚀刻糊在钛氧化物表面蚀刻方法中的用途。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 氧化物 表面 蚀刻 | ||
【主权项】：
1.用于蚀刻钛氧化物的无定形、结晶或部分结晶表面的呈具有非牛顿、优选触变流动特性的蚀刻糊形式的可印刷和可分布蚀刻介质，其特征在于其在15-50℃有效和/或可以通过输入能量活化，并包括下列组分：a)作为蚀刻组分的浓度为总量8.5-9.5重量％的二氟化氢铵，b)非必要的至少一种无机和/或有机酸，含量为所述介质总量的24-26重量％，其中存在的有机酸可以是选自由羧酸，例如甲酸、乙酸、二氯乙酸、乳酸和草酸组成的组的pKa值在0至5之间的有机酸，c)选自由水、诸如乙二醇单丁醚、三甘醇单甲醚的醚、诸如碳酸亚丙酯的碳酸酯、诸如1-甲基-2-吡咯烷酮的酮等等或它们的混合物组成的组的溶剂，其含量为蚀刻介质总量的52-57重量％，d)作为增稠剂的占蚀刻介质总量10.5-11.5重量％的纤维素衍生物和/或聚合物，例如聚乙烯吡咯烷酮，e)非必要的占总量0-0.5重量％的选自由消泡剂、触变剂、流动调节剂、脱气剂和增粘剂组成的组的添加剂。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于默克专利有限公司，未经默克专利有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/03820081.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：调控调节性T细胞活性的方法及组合物
- 下一篇：收缩薄膜
