[发明专利]用于将图案转印到物体的设备无效
申请号: | 03820323.5 | 申请日: | 2003-07-31 |
公开(公告)号: | CN1678956A | 公开(公告)日: | 2005-10-05 |
发明(设计)人: | L·奥尔松;P·安德松 | 申请(专利权)人: | 奥博杜卡特股份公司 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00;G03F9/00;//G11B5/84 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 范莉 |
地址: | 瑞典*** | 国省代码: | 瑞典;SE |
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摘要: | 一种用于将图案转印到物体(2)上的设备(4)。本发明特别地涉及微结构和毫微结构的生成。该设备包括对准装置(10),它设置成与第一接触装置(7)连接,以控制第一印模(8)沿垂直于推压方向(A)的方向上的运动,和具有第二印模(12)的第二接触装置(11),第二印模(12)用于将第二图案压印到物体(2)的第二表面(6)上,和推压装置(9),它还用于沿推压方向(A)推动第二印模(12)与物体(2)的第二表面(6)接触。由此得到了设计简单的设备,它具有较高的印模与物体的对准精确度。 | ||
搜索关键词: | 用于 图案 转印到 物体 设备 | ||
【主权项】:
1.一种用于将图案转印到物体(2)上的设备(4),所述物体(2)具有第一表面(5)和第二表面(6),所述设备(4)包括具有第一印模(8)的第一接触装置(7),第一印模(8)用于将第一图案压印到物体(2)的第一表面(5)上,以及推压装置(9),该推压装置(9)用于沿推压方向(A)推动第一印模(12)与物体(2)的第一表面接触,其特征在于,所述设备(4)还包括一个对准装置(10),该对准装置(10)设置成与第一接触装置(7)连接,以控制第一印模(8)沿垂直于推压方向(A)的方向上的运动,以及具有第二印模(12)的第二接触装置(11),第二印模(12)用于将第二图案压印到物体(2)的第二表面(6)上,推压装置(9)还用于沿推压方向(A)推动第二印模(12)与物体(2)的第二表面(6)接触。
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