[发明专利]向－制程室提供气体的方法及设备

摘要

兹提供一种形成用于一制程系统之气体的方法及设备。于一实施例中，一种形成用于一制程系统之气体的设备包括一罐体，其具有至少一设于两埠间之挡板且该罐体含有一先趋物材料。该先趋物材料在一界定压力下加热至一界定温度时系适于形成一气体蒸气。该挡板可驱使载气按一延伸之平均路径(位于该入口埠及出口埠间)移动。于另一实施例中，一种用于形成气体之设备包括一罐体，其具有一管体，该管体可将流入该罐体之载气引离该罐体内之先趋物材料。

主权项

1.一种形成用于一半导体制程系统之气体的设备，其至少包含：一罐体，其具有一侧壁、一顶部及一底部以界定一内部体积，该内部体积具有一上方区域及一下方区域；一入口埠及一出口埠，其穿设于该罐体并与该上方区域连通；至少一档板，其系设于该罐体之上方区域内，且介于该入口埠及该出口埠之间；以及一先趋物材料，至少部份填充该罐体之下方区域。