[发明专利]光泵激的发射辐射线的半导体装置及其制造方法无效
| 申请号： | 03821233.1 | 申请日： | 2003-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN1682418A | 公开（公告）日： | 2005-10-12 |
| 发明（设计）人： | C·卡努特施;N·林德尔;J·卢夫特;S·卢特根;W·施密德 | 申请（专利权）人： | 奥斯兰姆奥普托半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 苏娟;赵辛 |
| 地址： | 德国雷*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及配有一个半导体的一种光泵激的发射辐射线的半导体装置，该半导体具有至少一个泵激辐射线源(20)和一个表面发射的量子空腔谐振结构(11)，其中泵激辐射线源(20)和量子空腔谐振结构(11)是整体集成的。泵激辐射线源(20)产生泵激辐射线(2)用于量子空腔谐振结构(11)的光泵激，其中在半导体上在泵激辐射线源(20)和量子空腔谐振结构(11)之间形成一个凹穴(10)以用于将泵激辐射线(2)输入耦合到量子空腔谐振结构(9)中。此外，本发明还涉及用于这种半导体装置的一种制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 光泵激 发射 辐射 半导体 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.配有一个半导体的光泵激的发射辐射线的半导体装置，该半导体具有至少一个泵激辐射线源(20)和一个表面发射的量子空腔谐振结构(11)，其中泵激辐射线源(20)和量子空腔谐振结构(11)是整体集成的，泵激辐射线源(20)产生泵激辐射线(2)以用于量子空腔谐振结构(11)的光泵激，其特征在于，在所述半导体上，在泵激辐射线源(20)和量子空腔谐振结构(11)之间形成一个凹穴(10)，以用于将泵激辐射线(2)输入耦合到量子空腔谐振结构(11)中。
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