[发明专利]发光装置及其制造方法有效
申请号: | 03821551.9 | 申请日: | 2003-09-11 |
公开(公告)号: | CN1692679A | 公开(公告)日: | 2005-11-02 |
发明(设计)人: | 桑原秀明 | 申请(专利权)人: | 株式会社半导体能源研究所 |
主分类号: | H05B33/14 | 分类号: | H05B33/14 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 吴立明;梁永 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 通常,因为不能形成很窄宽度的隔堤以及由于发光器件的孔径比低,所以存在难以获得高分辨率的问题。此外,在为了沉积EL材料将具有阳极的衬底的传送到装置的期间,存在静电放电损坏或粘附灰尘的危险。考虑到上述观点,形成由无机绝缘膜形成的第一隔堤,并在其上形成绝缘膜,然后,形成通过执行回蚀刻与第一隔堤侧面接触的第二隔堤,然后,形成侧壁隔堤。为了防止静电放电损坏,形成抗静电层,传送衬底,然后去除抗静电层以形成第二隔堤。 | ||
搜索关键词: | 发光 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1、一种发光装置,包括:具有绝缘表面的衬底;形成在该衬底上的发光器件,其具有第一电极、有机化合物层和第二电极;覆盖第一电极边缘部分的第一隔堤;以及用作第一隔堤侧壁的第二隔堤。
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