[发明专利]普通玻璃基材上的平铺硅薄膜及其制造方法无效
| 申请号： | 03821832.1 | 申请日： | 2003-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN1682152A | 公开（公告）日： | 2005-10-12 |
| 发明（设计）人： | R·A·贝许雷许;K·罗 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1362 | 分类号： | G02F1/1362;H01L27/02;H01L21/762 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陈亮 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一绝缘层基材设备，制造本发明中所述的主动－矩阵液晶显示器。硅绝缘层上可包含待处理基材与数个与待处理基材键结的结晶硅供体部分。藉由多种供体基材，并于每一供体基材内形成分离层，结晶硅供体部分可与待处理基材键结。供体基材可跨越待处理基材表面加以配置，并与待处理基材产生键结。供体基材之后可于个别分离层处断裂，并自待处理基材移除，但每一供体基材的供体部分则仍黏附于待处理基材。 | ||
| 搜索关键词： | 普通 玻璃 基材 平铺 薄膜 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一用于制备主动-矩阵液晶显示器的绝缘硅层基材，其至少包含：一待处理基材，与数个键结于该待处理基材表面的结晶硅供体部分。
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