[发明专利]整体式溅射靶组件无效
| 申请号： | 03821956.5 | 申请日： | 2003-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN1688740A | 公开（公告）日： | 2005-10-26 |
| 发明（设计）人： | 罗伯特·B·福特;克里斯托弗·A·米哈卢克 | 申请（专利权）人： | 卡伯特公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;H01J37/34 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 王景刚;王冉 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 披露了一种带有由同一种材料制成的整体组件的整体式溅射靶组件。也披露了其他溅射靶组件，其具有背衬板和溅射靶坯，其中，背衬板由金属或者含有如阀用铅锡黄铜、钴、钛或其合金的金属组成。也披露了循环使用靶组件的方法以及将靶组件提供给金属加工厂的独特方法。 | ||
| 搜索关键词： | 整体 溅射 组件 | ||
【主权项】：
1、一种整体式溅射靶组件，其包括由同一种金属制成的整体组件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于卡伯特公司，未经卡伯特公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/03821956.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
