[发明专利]用于提供光束偏振的方法和系统

摘要

本发明揭示一种辐射偏振器、控制器和一种辐射偏振和光束控制的方法。所述辐射偏振器(10)包括：一个基板(14)；通信地耦合到所述基板的至少一个抗反射涂层(32)；通信地耦合到所述至少一个抗反射涂层的至少两个纳米结构(22)；和至少两个凹槽层(20)，其中所述至少两个凹槽层中的每一个与所述至少两个纳米结构中的相应一个间隔。所述方法可以包括以下步骤：将至少一个抗反射涂层通信地耦合到一个基板；将所述至少两个纳米结构通信地耦合到所述至少一个抗反射涂层中的至少一个；向所述至少两个纳米结构中的相应一个间隔地提供至少两个凹槽层；将所述至少两个凹槽层与所述至少两个纳米结构耦合以提供在从约250nm到小于约微波波长的范围内的通过波长；和通过允许辐射穿过所述至少两个凹槽层与所述至少两个纳米结构的耦合来允许检查具有在约250nm到小于约微波的范围内的波长并且具有与所述至少两个凹槽层成直角的电场的辐射。

主权项

1.一种辐射偏振器，其包含：一个基板；至少一个通信地耦合到所述基板的抗反射涂层；至少两个通信地耦合到所述至少一个抗反射涂层的纳米结构；和至少两个凹槽层，其中所述至少两个凹槽层中的每一个与所述至少两个纳米结构中的相应一个间隔；其中所述凹槽层中的每一个与所述纳米结构的所述相应一个之间的一通信耦合使所述辐射偏振，其中所述辐射具有一个与所述至少两个凹槽层成直角的电场，而且其中所述辐射具有一在从约250nm到小于约微波波长的范围中变化的波长。