[发明专利]铁电电容器及其制造方法

摘要

一种铁电电容器，其包含：下部电极层、下部电极层上的铁电层以及铁电层上的上部电极层，其中在下部电极层上形成铁电体，使得铁电体具有主取向轴，并且，下部电极层具有多层结构，下部电极的这些层越接近铁电层，则铁电体的构成元素或由构成元素构成的化合物对下部电极的扩散系数越大。通过有机金属汽相沉积法形成铁电层，并且在形成该铁电层时加热衬底；使含有铁电层的构成元素中至少一种的有机金属原料通过，从而在下部电极上形成铁电层的同时，使下部电极的与铁电层相接的第一层的构成元素与铁电层的构成元素形成为合金或化合物。由此获得了结构形态良好并且铁电体具有主取向轴的铁电电容器。

主权项

1、一种铁电电容器，其包含：下部电极层、下部电极层上的铁电层以及铁电层上的上部电极层，其中在下部电极层上形成铁电体，使得铁电体具有主取向轴，并且，下部电极层具有多层结构，下部电极的这些层越接近铁电层，则铁电体的构成元素或由构成元素构成的化合物对下部电极的扩散系数越大。