[发明专利]无电解镀装置及无电解镀方法

摘要

通过使保持于基板保持部上的基板和板的间隔接近，从处理液喷出部喷出处理液，可以对基板进行无电解镀。由于处理液流过基板和板之间的间隙，所以在基板上产生处理液流，可以向基板上供给新鲜的处理液。其结果，即使在处理液为少量的情况下，也能在基板上形成均匀性良好的镀膜。

主权项

1.一种无电解镀装置，其特征在于：包括：保持基板的基板保持部；与保持于所述基板保持部上的基板相对向地配置的板；在所述板的与所基述板相对向的表面上形成、并且喷出处理液的处理液喷出部；和改变所述板和基板之间隔的间隔调节部。