[发明专利]根据产品设计及产率反馈系统的综合性集成光刻制程控制系统

摘要

本发明提供可促进制程执行的系统和方法。集合关键参数的值作为品质矩阵，该品质矩阵根据参数对于一个或多个设计目标的重要性而加权各个参数。通过根据诸如产品设计、仿真、测试结果、产率数据、电气数据等信息的系数来加权各关键参数。本发明然后能够开发品质指标，该品质指标为当前制程的综合“分数”。然后控制系统能够将品质指标与设计规格相比较，以便判定是否可接受当前制程。若该制程为不可接受，则可修正测试参数以用于进行中的制程，该制程能够再运作和再实施完成的制程。如此，根据产品设计和产率，组件的各个层能对于不同的规格和品质指标而定制。

主权项

1.一种制程控制系统(100，300)，包括：一个控制器(102)，其可控制地执行制程；一个制程工具(104)，其获得测量信息并由该控制器(102)所控制；以及一个监视器组件(106、304)，其综合地分析该测量信息，适当地加权该信息，并决定该制程是否可接受。