[发明专利]用于光学检测的照射系统无效
| 申请号： | 03823097.6 | 申请日： | 2003-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN1771456A | 公开（公告）日： | 2006-05-10 |
| 发明（设计）人： | 伦·纳弗塔立;艾麦夏·捷塔;翰·菲德门;都伦·休汉;吉尔·布莱 | 申请（专利权）人： | 应用材料以色列股份有限公司;应用材料有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/48 | 分类号： | G02B27/48;G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | 本发明是有关于一种用于光学检测的照射系统，包括一个激光器，为产生以第一个光斑对比为特点的输入射束此激光器同时以多横向振荡模式工作。输入射束的横向振荡模式被光学混合来产生具有第二光斑对比的输出射束，此第二光斑对比充分小于第一光斑对比。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光学 检测 照射 系统 | ||
【主权项】：
1、一种用于产生光射线的装置，其特征在于其包括：激光器，同时以多横向振荡振荡模式工作来产生一个以第一个光斑对比为特点的输入射束；以及用于混合输入射束的横向振荡模式的光学装置，来产生具有远小于第一光斑对比的第二光斑对比的输出射束。
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