[发明专利]用于线性运动导向的静压轴承

摘要

一种自动补偿静压(压力流体薄膜)线性轴承，施加相关力后在滑座和导轨之间保持一个流体间隙。导轨及相配合的滑座的几何形状使得轴承具有非常高的刚度和承载能力，而没有过大的有害的滑座变形。该滑座包括轴承槽和平台，该轴承槽和平台控制并使用流体压力以便按照流体间隙的改变而提供一个非常大的回复力。阻止由轴承滑座的直接泄漏而导致流体从轴承间隙中流出，并且流出的流体被输送回抽汲流体的源，因此密封了轴承滑座并简化了对润滑流体的处理。该静压轴承特别设计成紧凑的并且与传统线性轴承“螺栓对螺栓”地一致。

主权项

1.一种自动补偿静压轴承，其包括：一个轴承导轨；一个安装在所述轴承导轨上以进行静压支承运动的轴承滑座，所述轴承滑座包括多个设置在与所述轴承导轨相对的表面上的自动补偿轴承垫，将所述多个自动补偿轴承垫构造并配置为相互之间以及与压力流体源处于流体连通；设置在所述轴承滑座的端部上的端部密封结构，所述端部密封结构的至少一个边缘与所述轴承导轨接合，以阻止静压流体从所述轴承滑座和所述轴承导轨之间泄漏；设置在所述轴承滑座的侧面部分上并在所述轴承滑座长度的至少一部分上延伸的侧面密封结构，所述侧面密封结构的至少一个边缘与所述轴承导轨接合，以阻止静压流体从所述轴承滑座和所述轴承导轨之间泄漏；以及一个设置在所述轴承滑座的几个部分之内的流体返回系统，该轴承滑座的几个部分由所述端部和侧面密封结构密封，所述流体返回系统向所述压力流体源输送流体。