[发明专利]使用干涉仪测定样品的形貌和成分无效
| 申请号： | 03823943.4 | 申请日： | 2003-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN1688864A | 公开（公告）日： | 2005-10-26 |
| 发明（设计）人： | L·杜尔曼 | 申请（专利权）人： | 安斯托幻想有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/06;G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周建秋 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 使用具有光束分光镜(402)、倾斜参考镜(401)和探测器(405)的干涉仪测量样品(403)的形貌。数据处理单元测量第一套条纹线干扰，形成描述所述样品形貌的第一套轮廓，所述第一套轮廓绘制成沿所述样品第一轴延伸的迹线，调节所述迹线相对所述样品的相对位置以形成第二套条纹线干扰，测量所述第二套干涉仪条纹线干扰形成描述形貌的第二套轮廓，将所述第一和第二套轮廓交错形成具有增强分辨率的形貌描述。该方法可以进一步包括通过匹配反射率与波长曲线表征包含有某些材料的样品。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 干涉仪 测定 样品 形貌 成分 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：a)利用预先确定的测量比例信息测量第一套干涉仪条纹线干扰，以便形成描述置于所述干涉仪样品台上的样品形貌的第一套轮廓，所述第一套轮廓绘制成在所述样品和所述样品台第一轴线延伸的迹线，所述迹线沿所述样品和所述样品台的第二轴线彼此之间具有可识别的间距；b)调节所述迹线与所述样品的相对位置，从而形成第二套条纹线干扰；c)利用所述预先确定的测量比例信息测量所述第二套干涉仪条纹线干扰，以便形成描述所述样品形貌的第二套轮廓；以及d)将所述第一套轮廓与所述第二套轮廓交错，形成沿所述第二轴线的分辨率小于所述间距的所述样品形貌描述。
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