[发明专利]用于密封投影照明设备的装置无效
| 申请号： | 03824720.8 | 申请日： | 2003-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN1695094A | 公开（公告）日： | 2005-11-09 |
| 发明（设计）人： | A·霍夫;G·莫尔;L·盖尔;W·施尔霍尔茨;E·约斯特 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT股份公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 廖凌玲;杨松龄 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种投影照明系统(1)，所述系统包括照明装置(3)、分划板(5)、投影透镜(7)和像平面。在各个元件之间的周围区域中设置开放空间。惰性气体或氮气流经的气体分配器(8，8′)被设置在至少一个所述开放空间中。选择气体分配器(8，8′)形状和尺寸，使得一个或多个开放空间相对于投影照明系统(1)周围的区域至少基本上能够被密封住。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 密封 投影 照明设备 装置 | ||
【主权项】：
1、投影照明设备，包括照明系统、分划板、投影物镜和像平面，其中在所述设备的各个元件之间的缝隙空间对于周围空间来说是开放的，其特征在于，含有惰性气体或氮气流的气体净化装置(8，8′)被布置在至少一个缝隙空间中，其中所述气体净化装置(8，8′)具有一定的形状和尺寸，使得一个或多个缝隙空间相对于投影照明设备周围的环境空间(1)至少在很大程度上能够被密封住。
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