[发明专利]用于数据分析的专家知识方法和系统无效

专利信息
申请号: 03825317.8 申请日: 2003-09-26
公开(公告)号: CN1701430A 公开(公告)日: 2005-11-23
发明(设计)人: P·亚达夫;A·D·拜利三世 申请(专利权)人: 兰姆研究有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 王岳;梁永
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 给出了用于调整定义一组处理运转的数据矩阵的方法,每个处理运转都具有对应于用于晶片处理操作的一组变量的一组数据。得到来源于数据集的模型(116)。得到对应于一个处理运转的新数据集(118)。将新数据集投射到模型(120)。识别作为投射结果产生的界外值数据点(122)。识别对应于一个界外值数据点的变量,被识别变量显示了高度影响(126)。识别来自新数据集的变量的值。确定变量的值是否是不重要的(128)。使用随机数据和来自新数据集和数据集的每一个中的确定不重要的变量,创建标准化的数据矩阵(132)。用标准化的数据矩阵更新数据集。
搜索关键词: 用于 数据 分析 专家 知识 方法 系统
【主权项】:
1.一种用于调整定义一组处理运转的数据集的方法,,每个处理运转具有对应于用于晶片处理操作的一组变量的一组数据,包括:得到来源于数据集的模型;得到相应于一个处理运转的新数据集;将新数据集投射到模型;识别作为投射结果产生的界外值数据点;识别对应于一个界外值数据点的变量,被识别的变量显示出高度影响;识别来自新数据集的变量的值;确定变量的值是否是不重要的;创建标准化的数据矩阵,使用随机数据和从新数据集和数据集中的每一个中确定是不重要的变量;和用标准化的数据矩阵来更新该数据集。
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