[发明专利]用于数据分析的专家知识方法和系统无效
申请号: | 03825317.8 | 申请日: | 2003-09-26 |
公开(公告)号: | CN1701430A | 公开(公告)日: | 2005-11-23 |
发明(设计)人: | P·亚达夫;A·D·拜利三世 | 申请(专利权)人: | 兰姆研究有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 王岳;梁永 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 给出了用于调整定义一组处理运转的数据矩阵的方法,每个处理运转都具有对应于用于晶片处理操作的一组变量的一组数据。得到来源于数据集的模型(116)。得到对应于一个处理运转的新数据集(118)。将新数据集投射到模型(120)。识别作为投射结果产生的界外值数据点(122)。识别对应于一个界外值数据点的变量,被识别变量显示了高度影响(126)。识别来自新数据集的变量的值。确定变量的值是否是不重要的(128)。使用随机数据和来自新数据集和数据集的每一个中的确定不重要的变量,创建标准化的数据矩阵(132)。用标准化的数据矩阵更新数据集。 | ||
搜索关键词: | 用于 数据 分析 专家 知识 方法 系统 | ||
【主权项】:
1.一种用于调整定义一组处理运转的数据集的方法,,每个处理运转具有对应于用于晶片处理操作的一组变量的一组数据,包括:得到来源于数据集的模型;得到相应于一个处理运转的新数据集;将新数据集投射到模型;识别作为投射结果产生的界外值数据点;识别对应于一个界外值数据点的变量,被识别的变量显示出高度影响;识别来自新数据集的变量的值;确定变量的值是否是不重要的;创建标准化的数据矩阵,使用随机数据和从新数据集和数据集中的每一个中确定是不重要的变量;和用标准化的数据矩阵来更新该数据集。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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