[发明专利]药液供给装置有效
| 申请号： | 03825579.0 | 申请日： | 2003-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN1713967A | 公开（公告）日： | 2005-12-28 |
| 发明（设计）人： | 福泉正孝;平冈尚树;山本穗高;中村刚志;押田佑;的场亨 | 申请（专利权）人： | 富士通株式会社 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B01F5/12 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 高龙鑫;王玉双 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 向外部装置(7)供给浆液的药液供给装置(100)包括：磨粒悬浊液以规定的流量流经其中的供给路径(A)和连接供给路径与贮存罐(1)的回流路经(C)。向外部装置停止供给浆液时，维持供给路径内的磨粒悬浊液的流动以防止磨粒的凝聚、沉降，磨粒悬浊液从供给路径经由回流路经回流到贮存罐中。 | ||
| 搜索关键词： | 药液 供给 装置 | ||
【主权项】：
1.一种药液供给装置，是把贮存在贮存罐中的药液供给外部装置的药液供给装置，其特征在于包括：使所述药液以规定的流量流经其中的供给路径；和在停止向所述外部装置供给所述药液时使所述药液从所述供给路径回流到所述贮存罐中的回流路经。
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