[发明专利]垂直上升孔相变存储器有效
申请号: | 03825591.X | 申请日: | 2003-04-28 |
公开(公告)号: | CN1714461A | 公开(公告)日: | 2005-12-28 |
发明(设计)人: | T·A·劳里 | 申请(专利权)人: | 奥沃尼克斯股份有限公司 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 钱慰民 |
地址: | 美国密*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 一种用于相变存储器(10)的垂直上升孔结构可包括:具有在与小孔(46)中的相变材料(18)接触的小孔下方的下电极的小孔(46)。该下电极可以由较高电阻率层(24)和较高电阻率层(24)下方的较低电阻率层(26)组成。结果,可以在一些实施例中实现相变材料(18)的更均匀的加热和在一些情况下达到更佳的接触。 | ||
搜索关键词: | 垂直 上升 相变 存储器 | ||
【主权项】:
1.一种相变存储器,其特征在于,包括:绝缘材料;在所述绝缘材料上的相变材料;和与所述相变材料相耦合的下电极,所述下电极包括在一层较低电阻率层上的一层较高电阻率层。
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