[发明专利]制造碳纳米管的薄膜、层、织物、条带、元件以及制品的方法

摘要

本发明揭示制造碳纳米管的膜、层、织物、条带、元件以及制物品的方法。在基片表面施加碳纳米管生长催化剂(350)。使基片进行含碳气体的化学气相沉积，以生长碳纳米管的非织造织物。根据界定的图案选择性除去部分非织造织物，以产生所述制品。通过在芯片基片表面施加碳纳米管催化剂(350)来构成碳纳米管的非织造织物，形成分散的单层催化剂。该基片进行含碳气体的化学气相沉积，以生长接触的碳纳米管的非织造织物，并覆盖芯片表面，且其中织物具有基本均匀的密度。

主权项

1.制造一种制品的方法，包括：在基片表面施加碳纳米管生长催化剂；使该基片进行含碳气体的化学气相沉积，生长碳纳米管的非织造织物；根据界定的图案，选择性地除去部分非织造织物，产生所述制品。