[发明专利]制造装置的控制管理系统无效
申请号: | 03826787.X | 申请日: | 2003-07-30 |
公开(公告)号: | CN1820351A | 公开(公告)日: | 2006-08-16 |
发明(设计)人: | 喜多村章司 | 申请(专利权)人: | NEC机械股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;H05K13/08;G05B19/418 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 寿宁 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明是提供一种基于种类参数而进行制造的制造装置(3)的管理控制系统,其包括:判断电路(5),其从制造装置(3)的运转信息(a)中提取错误信息(b);错误抑制电路(6),其提取用以与已提取的错误信息(b)相对应的错误避免的参数(d),并可变地控制制造装置(3)的种类参数,并且从存储由制造装置(3)制造的各种工作产品的各种参数和用于错误避免的数据的产品制法数据库部(11),通过产品检索引擎部(12)检索与由制造装置(3)制造的工作产品相对应的数据,并设置制造装置(3)。 | ||
搜索关键词: | 制造 装置 控制 管理 系统 | ||
【主权项】:
1.一种制造装置的管理控制系统,其特征在于包括:判断电路,其从基于将工作产品按各种类进行设定的种类参数而制造的制造装置的运转信息中提取制造上的错误信息,并根据该错误信息判断是提示操作员进行调整,还是由制造装置尝试自动避免错误;以及错误抑制电路,其提取与在判断电路中提取的错误信息相对应,且预先记录设定的用于避免错误的参数信息,并可变地控制上述种类参数,从而使制造装置继续运转。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造