[发明专利]与外部光场有低耦合损耗的集成光波导结构

摘要

一种集成光波导结构，包括：用于引导光场并形成在下包层(111)上的波导芯(113)。波导芯包括：与下包层基本共同延伸并有基本均匀厚度(t)的波导芯层(113a)，和有基本均匀高度(h－t)的波导芯肋(113b)，波导芯肋从波导芯层表面突出，该表面与面向下包层的表面相对。波导芯肋的外形确定导向光场的路径。集成光波导结构包括：光路波导部分(117a)，其中波导芯层有适合于引导光场通过光路的第一宽度(W₀)，和至少一个耦合波导部分(101)，它适合于耦合光路波导部分到外部光场。该耦合部分包括：有第二宽度(W)的终端波导芯肋部分(117c)，它的第二宽度小于第一宽度，并终止在侧面(119)上，和过渡波导芯肋部分(117b)，它与光路波导部分和终端波导部分互相光路连接；过渡波导芯肋部分是沿横向逐渐缩减，使其宽度从第一宽度减小至第二宽度。该波导结构允许集成光学器件设计者满足光路的需要，与此同时，可以确保与外部光场的满意耦合效率。

主权项

1.一种集成光波导结构，包括：用于引导光场的波导芯(113)，波导芯形成在下包层(111)上，其中波导芯包括：与下包层基本共同延伸并有基本均匀厚度(t)的波导芯层(113a)，和从波导芯层表面突出的波导芯肋(113b)，该表面与面向下包层的表面相对，所述波导芯肋(113b)有基本均匀的高度(h-t)，波导芯肋的外形确定导向光场的路径，其特征是，集成光波导结构包括：光路波导部分(117a)，其中波导芯肋有适合于引导光场通过光路的第一宽度(W0)，和至少一个适合于耦合光路波导部分到外部光场的耦合波导部分(101)，所述耦合波导部分包括：有第二宽度(W)并终止在侧面(119)上的终端波导芯肋部分(117c)，第二宽度小于第一宽度，和过渡波导芯肋部分(117b)，它与光路波导部分的芯肋和终端波导芯肋部分互相光路连接，所述过渡波导芯肋部分沿横向逐渐缩减，使其宽度从第一宽度减小至第二宽度。