[其他]测量固体表面速度变化的光干涉仪在审
申请号: | 101985000004475 | 申请日: | 1985-06-07 |
公开(公告)号: | CN85104475B | 公开(公告)日: | 1988-09-21 |
发明(设计)人: | 张仲先 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | 分类号: | ||
代理公司: | 浙江大学专利代理事务所 | 代理人: | 陈祯祥 |
地址: | 浙江省杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种测量固体表面速度变化的光干涉仪。仪器中设置两条长短不同的光路系统,光源发出的光分别经过它们,以时间差τ值先后射到被测表面,当它们从表面返回干涉系统时,应用光的偏振特性,使之各自经过与入射光路长短相反的路径到达光电探测器,于是消除时间差τ而实现等光程干涉,干涉条纹的变化正比于表面速度的变化。测速变化范围3m/s-1000m/s,本发明具有量程大,成本低,使用方便的优点。 | ||
搜索关键词: | 测量 固体 表面 速度 变化 干涉仪 | ||
【主权项】:
暂无信息
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