[其他]测量固体表面速度变化的光干涉仪在审

专利信息
申请号: 101985000004475 申请日: 1985-06-07
公开(公告)号: CN85104475B 公开(公告)日: 1988-09-21
发明(设计)人: 张仲先 申请(专利权)人: 浙江大学
主分类号: 分类号:
代理公司: 浙江大学专利代理事务所 代理人: 陈祯祥
地址: 浙江省杭*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 一种测量固体表面速度变化的光干涉仪。仪器中设置两条长短不同的光路系统,光源发出的光分别经过它们,以时间差τ值先后射到被测表面,当它们从表面返回干涉系统时,应用光的偏振特性,使之各自经过与入射光路长短相反的路径到达光电探测器,于是消除时间差τ而实现等光程干涉,干涉条纹的变化正比于表面速度的变化。测速变化范围3m/s-1000m/s,本发明具有量程大,成本低,使用方便的优点。
搜索关键词: 测量 固体 表面 速度 变化 干涉仪
【主权项】:
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